Solid SiC系列
关键词：
碳基
所属分类：
产品与应用
必赢国际bwi437产品涵盖碳基、陶瓷及其高端材料，应用于半导体芯片制造各个环节，如单晶生长、外延、刻蚀、扩散、CVD、PVD等。产品性能媲美海外SiC耗材先进友商，助力高端制造国产化。
产品性能:
耐高温 |
耐高压 |
耐磨 |
使用寿命高 |
耐腐蚀性 |
纯净度高 |
材料及特性
• 块体：β-SiC（厚度1~14 mm）
应用场景
晶圆制造
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• 外延 |
• 扩散 |
• 刻蚀 |
实现技术
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• 精密加工（石墨） |
• 低压化学气相沉积 （LPCVD） |
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• 精密加工（β-SiC） |
性能要求
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• 致密度高 |
• 电阻率可控 |
• 高纯度 |
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• 高导热 |
• 耐腐蚀 |
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应用领域
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• LED光电 |
• 集成电路 |
• 第三代半导体 |
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